半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法
内容游戏背景
本次目座落在长三边形地段某地区级光电器件文化产业各园,单位首要种植8寸大和12寸大晶圆,每日量提高了2万片。跟随着产能利用率提高了,原先的的生产废水治疗方案已尚未拥有环保健康耍求,紧缺升級升级改造。工作总资金约11000万元,方案治疗技能为300吨/日,于2022年建设完工投产。
污水化学成分及特征
该制造业企业晶圆片区工作产生的污废水 主要是包函下述材料:
打磨阶段中用的研磨机液残余物物,最主要的部分为二腐蚀硅科粒、表面上活力性剂和设计填加剂
晶圆漆层清晰有的含氟污废水 ,氟铁离子有机废气浓度在80-120mg/L
多量天价属铝离子如铜、镍等,特征于激光切机器刹车盘磨损
有机的容剂存留,涉及异丙醇、二甲苯等
pH值起伏极大,一般来说在4-10相互之间
补救鑫霖环保具体流程
专门针对废液的特点,制定通过"化学预治理+血生化治理+强度治理"的乐队组合工艺技术:
设定池
:平均水质检测的水量,使用pH线下检测和自然投加系统的
混凝土放置
:加药系统PAC和PAM,弄掉悬浮物物和氢氧化铁类物质
气浮摸块
:采取溶气气浮加工制作工艺 进一大步消除犬细小颗料和位置设计物
血生化整理
:按照MBR膜菌物反响器,生活污水渗透压持续在8000-10000mg/L
长度治疗
:活性酶类炭溶解+反浸入鑫霖环保,狠抓出液符合标准
飞灰净化处理
:板框压滤脱水怎么办,污泥干化水分含量率减少为60%如下
加工感觉
体系稳定可靠正常运行后,溢水水质规格完全性符合《自动化工业生产水弄脏物污染物规格》(GB39731-2020)特点污染物标准值规定:
COD<30mg/L
氟亚铁离子<5mg/L
浮动物<10mg/L
血本属杜六房加盟总部的指数公式均降到限制值
的项目第一年可限制污染问题物减排量约COD 32吨、氟化物8.5吨,工业废水处理水率实现75%这些,为工厂大大节省有水费费用约115万元/年。