半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
新项目时代背景
该鑫霖环保业企业主为世界先进的半导体技术测封鑫霖环保业企业主,靠近珠三边形区县,大部分来高档次电源芯片的小学划片和二极管封装测试软件。在地区环保性的标准严厉,鑫霖环保业企业主决定的方案化工废水零摆放工程施工。业务于2030年开机,202四年6月建起投建,补救进行投资额为200吨/日,总进行投资约200070万。
污水化学成分及源于
这项目地划区焦化废水有下面的特殊性:
高氧化还原电位氟化物,核心来晶圆切割机后的拆洗制作工序,氟亚铁离子氧化还原电位可高达150-200mg/L
有nm级硅粉颗粒肥料,粒度分布多在100-500nm左右
充分负荷什么意思较高,COD在500-800mg/L
具有刺激性少量巨资属如铅、镉等
纯水电导率高,一般而言在2000-3000μS/cm
工作注意事项注意事项
为实行临“0”排放口目的,艺结构设计侧重于来考虑废水处理等级分类整理和資源回报:
生活污水进行分类抽取设备
:将含氟污废水处理工艺 与别的污废水处理工艺 分着整理
化工沉淀自己除氟
:用于二级钙盐析出法,积极配合更高效析出池
专业阳极氧化治理
:活性氧离子液体氧化的降解塑料难外理可挥发物
膜溶缩整体
:分为DTRO碟管式反渗入,浓缩造成公倍数为10倍
蒸馏沉淀
:MVR自动化设备水蒸气再压解冷却器器补救浓水
非常干燥系统性
:将成果盐太干后是企业副的产品外售
操作特效
体系进行大数据展示:
氟化物除去率>99.9%,满水后氟阴阳离子<1mg/L
COD总我们要除率>98%,留水COD<20mg/L
水土资源量收旧率>95%,仅生产极少量晶粒盐
一年可收购 高产品品质回收水约16万吨
晶体盐色度高达工艺级准则,达成信息化充分利用
建设项目不光确保了废渣临“0”排放出,还依据資源回收并开创了约80十万/年的另外价值。