北京某半导体心片心片研发厂，晶圆加工生产的过程中产生含硅、氟的特别的污污废水 ，方案补救经营规模1200吨/日。污污废水 材料复杂化，具有納米级硅颗粒物及氢佛酸，一般补救方式方法难符合标准。 废污水组成及特征 关键感染物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒度分布）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 种类流程 ：晶圆刻蚀电镀废水处理（45%）、CMP普通机械主设备机械主设备打蜡 电镀废水处理（40%）、主设备冲洗器水（15%） 处置方法具体步骤 什么是创新进行"生物学沉淀自己+特种车膜脱离"系统自驾路线： 钙盐沉垫 ：加药氯化钙我们要除氟阴离子（生产CaF2沉淀出的） 二沉池症状 ：塑料斜板沉淀池剂保持溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挪作他用微细粒子 ro反渗透到设备 ：脱盐率>98%，收购 率75% 多效蒸发成果 ：浓水段保证氟化物零排出 后面郊果 氟化物质量浓度：<8mg/L（超过国家的4级准则10mg/L） 硅分量：<5mg/L 水产品工业废水处理率：70%用以蒸发塔保湿 垃圾减量化：化掉沉渣量较经典工艺流程减轻60%